膜片测厚仪 智能膜厚测量仪具备以下特点，为您解决所有烦恼： ● 可随身携带至生产现场的手持式设计 ● 操作简便，新人也能轻松上手 ● 虽为手持设备却可实现高精度测量 ● 支持对三维样品进行无损检测

分光干涉式晶圆膜片测厚仪 即时检测 WAFER基板于研磨制程中的膜厚 玻璃基板于减薄制程中的厚度变化 (强酸环境中) 产品特色 非接触式、非破坏性光学式膜厚检测 采用分光干涉法实现高度检测再现性

显微分光膜测厚仪 ​非接触 · 非破坏 · 显微、对焦、测量1秒完成 ● OPTM系列显微分光膜厚仪是一款可替代椭偏仪

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膜厚量测仪 测厚仪 产品信息 特 长 薄膜到厚膜的测量范围、UV~NIR光谱分析 高性能的低价光学薄膜量测仪 藉由绝对反射率光谱分析膜厚 完整继承FE-3000机种90%的强大功能 无复杂设定，操作简单，

相位差测量装置 产品信息 特 点 采用了偏光光学系和多通道分光检出器 有可对应各种尺寸的装置，从1mm大小的光学素子到第10代的大型基板 安全对策和粒子对策，可对应液晶line内的检查设备

显微分光膜测厚仪 利用显微微分光膜厚计OPTM series的高精度、微小光点，在线提供制作晶片图案后的微小区域测量等膜厚信息

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