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相位差测量装置
相位差测量装置
产品信息 特 点 采用了偏光光学系和多通道分光检出器 有可对应各种尺寸的装置，从1mm大小的光学素子到第10代的大型基板 安全对策和粒子对策，可对应液晶line内的检查设备
特 点
使用光谱仪实现高精度测量
精度高的原因
● 使用的高性能多通道光谱仪（型号：MCPD）对光谱进行解析
● 可获取较多的透过率信息 实现高精度测量
(获得的透射率信息约为 500 波长，是其他公司产品的约50 倍）。
超高相位差测量-超双折射薄膜可高速、高精度测量
轴角度补正功能-即使样品放置有偏离，也可轻松、再现性良好的进行测量
便捷的软件-极大缩短测量时间与处理时间，操作性大幅UP
产品规格
测量项目（薄膜、光学材料） | 相位差（波长分散）、慢轴、RTH*1、3次元折射率*1等 |
|---|---|
测量项目（偏光片） | 吸收轴、偏光度、消光比、各种色度、各种透过率等 |
测量项目（液晶cell） | cell gap、预倾角*1 、扭曲角、配向角等 |
位相差测量范围 | 0～60,000nm |
相位差重复性 | 3σ≦0.08nm（水晶波长板 约600nm） |
cell gap 测量范围 | 0～600μm（Δn=0.1时） |
cell gap 重复性 | 3σ≦0.005μm（cell gap 约3μｍ、Δｎ＝0.1时） |
轴检测重复性 | 3σ≦0.08°（水晶波长板 约600nm） |
测量波长范围 | 400～800nm（其他可选） |
检测器 | 多通道光谱仪 |
测量径 | φ2㎜(标准规格) |
光源 | 100W halogen lamp |
数据处理部 | 个人计算机、显示器 |
样品台尺寸:标准 | 100㎜×100㎜（固定样品台） |
option | ·超高相位差测量 |
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