显微分光膜测厚仪
利用显微微分光膜厚计OPTM series的高精度、微小光点，在线提供制作晶片图案后的微小区域测量等膜厚信息

显微分光膜测厚仪

显微分光膜测厚仪

利用显微微分光膜厚计OPTM series的高精度、微小光点，在线提供制作晶片图案后的微小区域测量等膜厚信息

特　点

● 膜厚测量范围1nm～92μm（换算为SiO2）

● 膜厚值高重复精度

● 1点1秒以内的高速测量

● 最小小点Φ3μm）中瞄准模式

● 适合图案晶片的膜厚映射

● 能够取得图案对准用图像

装置组装示意图

测量数据示意图

测量光点周边图像

适应过程示例

CMP工艺

蚀刻工艺

成膜工艺等

产品规格

代理品牌：CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、NPM日脉  、SUGIYAMA杉山

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西、 HAYASHI 林时计

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣

HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基