粗真空监测核心探头：爱发科 ULVAC WP-01 皮拉尼真空规管技术解析

                 在半导体、镀膜、真空干燥、等离子清洗等工艺中，粗抽阶段真空压力监测直接决定设备启停与工艺安全。皮拉尼真空规凭借热传导原理，

是低真空区间最主流的测量方案。爱发科 ULVAC WP-01 作为经典皮拉尼传感器探头，凭借铂丝灯丝、稳定的量程区间与小巧结构，

成为国内真空设备配套的主流选型，广泛用于各类真空腔体粗真空段压力采集。

一、测量原理

WP-01 属于定温式皮拉尼真空规探头，核心基于气体热传导效应：探头内部铂丝灯丝通电加热，灯丝热量通过腔体内部气体分子传导至外壳。

真空压力越高，气体分子密度越大，带走热量越多；压力越低，散热越弱。气体导热变化直接改变铂丝电阻值，配套真空控制器（GP-1000G 等）采集电阻信号，

换算为真空压力数值输出。

要点：皮拉尼规读数受气体种类影响，默认以空气标定；测量其他气体（氩气、氮气等）需要气体修正系数。

二、核心技术参数

三、产品特点

1. 铂丝灯丝耐用性强区别于传统钨丝皮拉尼规，WP-01 采用铂丝传感元件，抗氧化能力更强，意外在大气压下通电时灯丝熔断风险更低，

   现场容错率高，减少探头意外报废。

2. 体积小巧，安装维护便捷Φ18 标准探头结构，可直接安装在真空管路、腔体侧壁；独立探头式设计，后期维护更换仅更换规管，

   无需改动真空管路，大幅降低设备停机维护成本。

3. 覆盖粗抽关键真空区间量程 0.4Pa~3000Pa，覆盖真空泵粗抽阶段：从大气压预抽，到粗抽结束、

   转入高真空阶段的监测，是真空机组抽气曲线监控的关键测点。

4. 信号输出稳定探头本身不具备显示功能，必须搭配对应控制器，控制器可输出 0~5V/0~10V 模拟信号，接入 PLC 实现自动化联锁、

   压力报警、泵组启停控制，适配自动化产线。

四、典型应用场景

• 半导体设备：等离子清洗、去胶、晶圆预处理腔体粗真空监测

• 真空镀膜：蒸发、溅射设备粗抽压力监控

• 热处理行业：真空炉、真空干燥箱、冻干机

• 科研设备：实验室真空腔体、材料表征真空系统

• 锂电、精密陶瓷：粉体脱气、真空浸渍工艺粗真空监测

五、安装与使用注意事项

1. 安装位置：尽量避开气流直吹、热源位置，减少气流冲击与环境温度波动带来读数漂移；探头安装方向无强制要求，但避免粉尘、油汽大量附着在灯丝表面。

2. 介质限制：不适用于强腐蚀气体、大量可凝性蒸汽、含大量粉尘油污工况；油污沉积会改变铂丝散热特性，造成读数漂移，缩短使用寿命。

3. 预热规范：开机后预留 10 分钟预热时间，热平衡完成后再记录压力数据。

4. 选型区分：同系列 WP-02（Φ15）、WP-03（PT3/8 螺纹），安装接口不同，不可直接互换，采购替换时核对接口尺寸。

5. 气体修正：原厂标定介质为空气；工艺气体为氩气、氢气等，压力读数需要使用对应气体修正系数校正。

六、小结

爱发科 WP-01 皮拉尼真空规管，是粗真空段成熟可靠的压力测量探头。铂丝灯丝提升耐用性，0.4Pa~3000Pa 量程匹配绝大多数真空系统粗抽监测需求，

结构紧凑易维护。在半导体、镀膜、真空热处理等设备中，作为真空压力联锁、抽气状态监控的标准传感器，兼顾稳定性与经济性。

在真空系统方案设计与备件替换时，需同步确认配套控制器型号、安装接口与工艺气体介质，保障真空测量准确性。