坂本电机 SELN-001B：分体式双轴精密数字水平仪技术解析

一、概述

坂本电机（SAKAMOTO SEM）SELN-001B 是一款日本原厂研发的有线分体双轴数字水平仪，专为半导体设备、光学平台、精密机床、

检测设备的高精度调平场景开发。区别于传统气泡水准器，该产品将测量传感器与显示主机分离，同步采集 X/Y 两轴倾斜角度，

兼顾高精度测量与现场调试便捷性，是精密制造领域设备安装、运维校准的核心测量仪器。

传统玻璃气泡水平仪存在人工读数偏差、无法同时观测双轴、狭小空间难以放置观测等痛点。SELN-001B 保留气泡可视化界面的操作习惯，

同时输出数字化角度数值，解决人工目视误差，大幅缩短设备调平工时。

二、核心结构与工作原理

SELN-001B 由传感探头、连接线缆、触控显示主机三部分组成。

1. 传感探头：内置双轴倾角传感单元，实时感知 X、Y 两个正交方向的微小倾斜变化，将物理倾角转化为电信号；探头本体轻量化设计，

   可放置在晶圆载台、光学台面等精密构件表面，不会压伤被测工件。标配 SUS 不锈钢底座，也可按需更换铝合金、陶瓷底座，线缆默认 2m，

   可选 5m 加长线缆，适配远距离观测场景。

2. 信号传输：有线方式传输测量信号，规避无线信号漂移干扰，保证稳定高精度采集。

3. 显示主机：搭载 32 位 MCU 与 14bit 高精度 AD 转换芯片，采集传感器信号运算处理，在 4.3 英寸彩色触控屏上同时展示环形模拟气泡 + 数字角度值。

   操作人员可沿用气泡水平仪的调平习惯，同步查看 X、Y 轴实时角度，支持三档量程切换，还能自定义合格阈值，自动判定调平是否达标。

三、关键技术规格

四、产品核心技术优势

1. 分体式结构，适配狭窄工况

传感器探头体积小巧，可伸入设备内部狭小间隙；主机放在外侧，调试人员无需俯身贴近被测台面，一边调设备一边看屏幕，

解决密闭腔体、设备底层等位置调平观测困难的问题。

2. 双轴同步测量，提升调平效率

传统单轴水平仪需要反复交替调整 X、Y 方向。SELN-001B 同时实时反馈两个方向倾斜量，一次调整即可同步监控双轴状态，显著减少设备安装、大修后的调平作业时间。

3. 兼顾可视化与数字化，降低人员门槛

屏幕上模拟传统气泡的环形指示图形，老工程师可以沿用原有操作习惯；同时显示精确数字角度，消除人眼视角带来的读数误差，

测量结果可量化、可复现，便于产线标准化检验。设定公差阈值后，屏幕直接判定合格 / 不合格，减少人工判断失误。

4. 高速响应，微小倾角实时捕捉

50ms 以内快速响应，可捕捉设备微调过程中的角度变化，适合光学平台、光刻机载台等高要求场景的精细找平。零点重复性≤±0.001°，

多次复测数据一致性强，满足半导体、精密光学设备对水平度的严苛指标要求。

5. 丰富定制选项

底座材质、底座外形、线缆长度均可定制。陶瓷底座适合低膨胀、高稳定场景；铝合金底座进一步减重；定制异形底座可适配辊面、异形台面等特殊工件调平需求.

五、典型应用场景

1. 半导体行业：晶圆载台、曝光设备、检测机台安装与定期水平校准；

2. 光学领域：光学平台、干涉仪、激光设备底座调平；

3. 精密机械：高精度加工机床、三坐标测量机设备安装；

4. 检测实验室：精密试验台、振动测试平台水平校验；

5. 设备运维：产线设备定期点检，排查沉降、应力变形导致的水平偏移。

六、使用注意事项

1. 传感器探头属于精密传感元件，放置时避免撞击、跌落，不可在探头表面施加重压；

2. 测量前建议预热并执行零点校准，消除温度漂移带来的微小误差；

3. 虽然工作温度范围宽，但尽量避免在剧烈温度波动环境下进行高精度测量；

4. 线缆拉扯会影响信号，移动主机时避免拖拽传感探头；

5. 该型号无数据存储功能，如需记录测量数据，需人工同步记录数值。