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YAMADA山田光学 高亮度卤素光源. 高亮度卤素光源系统是一种宏观观察照明系统,用于检测 最终精加工表面的异物、划痕、抛光不均匀、雾度和滑移等各种缺陷,这是半导体晶片和液晶衬底加工过程中最 费力的。
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