ULVAC 爱发科 GP-1000G 恒温皮拉尼真空计｜原理、性能与工业应用解析

            在真空工艺中，粗抽阶段的压力监测直接决定设备联锁、工艺启停与成品良率。皮拉尼真空计是低真空段最主流的测量仪表之一。

日本 ULVAC 爱发科 GP-1000G 作为恒温型皮拉尼真空计，凭借铂灯丝传感、内置温度补偿、多路信号输出与 3 点继电器设定，广泛应用于锂电、

半导体、真空烧结、真空干燥等设备的粗真空压力监测，是工业真空成套系统中可靠性强的压力测控单元。

一、测量原理：恒温皮拉尼热传导机制

GP-1000G 基于气体热传导效应工作。传感器内部铂丝被维持在恒定温度，真空腔体内气体分子撞击铂丝带走热量；气体压力越高，分子密度越大，

热散失速率越高，电路通过维持铂丝恒温所需功率反推真空压力值。区别于普通皮拉尼计，GP-1000G 采用恒温控制电路，可稳定维持灯丝温度，

降低压力变化带来的漂移；搭配内置温度补偿电路，削弱现场环境温度波动对读数的干扰。同时传感灯丝采用铂（Pt）材质，抗大气冲击，

在意外破真空工况下不易烧毁，大幅提升传感器寿命，适合炉体存在少量油气、粉尘的工业现场。

重要特性：更换测头电缆长度后，无需重新校准，简化现场安装维护工作。

二、核心技术规格

三、产品核心亮点

1. 3 点独立继电器设定输出，支持工艺联锁自带 SET1/SET2/SET3 三组压力阈值开关量输出，可直接接入 PLC，用于粗抽启动、

   压力报警、泵组启停、炉门互锁，实现真空排气时序自动化控制，无需额外压力开关。

2. 丰富通讯与模拟信号，适配工控系统同时配备 0~10V 模拟量、BCD 数字输出、RS232 串口，可对接工控屏、数据采集模块，

   实现压力数据采集、存储与远程监控，满足半导体、锂电设备自动化集成需求。

3. 铂灯丝耐冲击，工况适应性强铂丝传感器可耐受大气冲击，突发回大气时灯丝不易损坏；相比钨丝皮拉尼计，耐轻微油气、

   粉尘污染，适合真空烧结炉、热处理炉、冻干机等复杂工况。

4. 温度补偿 + 恒温控制，读数稳定性高内置温度补偿电路，降低环境温度变化带来的测量漂移；恒温工作模式，相比恒流型皮拉尼，压力响应一致性更好。

四、典型应用场景

• 真空炉、烧结炉、热处理炉粗抽段压力监测与联锁

• 半导体、锂电真空排气系统粗真空压力监控

• 真空干燥、冷冻干燥设备工艺压力测量

• 镀膜、脱气设备前级粗抽压力采集

• 各类真空机组泵组启停、压力报警安全联锁

适用边界：GP-1000G 为低真空（粗真空）仪表，测量上限 2700Pa，不可用于高真空、超高真空测量；

皮拉尼计读数与气体种类相关，默认标定为氮气，测量氩气等其他气体时需要进行气体修正。

五、安装与运维要点

1. 测头建议安装在气流稳定位置，避开高速气流、油滴直接冲刷位置；KF16 接口注意密封，防止漏气影响测量。

2. 传感器尽量避免大量可凝性蒸汽、强酸强碱气体，会污染铂丝，造成漂移。

3. 定期检查测头污染情况，读数漂移增大时，可清洁传感器；污染严重则更换测头。

4. 继电器输出为无源接点，接入 PLC 回路时注意负载容量，避免触点烧毁。

5. 电缆更换无需校准，但电缆不可随意加长到超出规格范围，避免通讯异常。

六、总结

ULVAC 爱发科 GP-1000G 恒温皮拉尼真空计，聚焦 0.4~2700Pa 低真空区间，集压力显示、多路信号采集、3 点压力联锁于一体。

铂灯丝、温度补偿、免重新校线的设计，兼顾测量稳定性与现场维护便利性，是工业真空粗抽段自动化测控的经典选型。在真空热处理、

锂电、半导体真空排气等场景，可稳定完成压力监测与安全联锁，保障整套真空设备工艺稳定运行。