FLUORO 福乐 851-L 本体导电螺旋真空软管 —— 大尺寸晶圆无尘拾取系统

           在半导体、宽禁带化合物、光学基板的无尘人工拾取工位，真空吸笔、负压源往往是大家关注的重点，而中间连接的真空软管常常被视作普通辅材。实际上，

普通 PU 弹簧管在反复拉伸摩擦下极易积聚静电，是晶圆、裸芯发生突发性静电击穿、掉片、表面颗粒污染的隐形风险源。日本 FLUORO 福乐 851-L 大号导电伸

缩真空软管，专为 6～8 寸大尺寸晶片手持搬运工况开发，依托本体导电基材、大流量通径、低发尘洁净特性，成为 ESD 管控无尘产线真空拾取链路的标准配套管路。

一、产品定位与型号说明

851-L 隶属于 FLUORO 福乐 851 系列防静电螺旋真空软管，同系列包含 851-M 小号与 851-L 大号两个规格：

• 851：系列代号，代表导电螺旋伸缩真空软管产品线；

• L = Large，大流量大号版本，通径更大、负压输送能力更强，面向大负载真空吸笔；

• 851-M 为小流量版本，适配 2～4 寸小晶片。

整套真空拾取系统由真空泵、真空软管、手持吸笔、吸嘴组成，851-L 承担负压传输与静电泄放双重职能，一端对接 FV 系列隔膜真空泵，另一端直连 C002、C007、F002、F007 等大流量真空吸笔，完成晶圆在晶圆盒、载台、检测工位之间的转移作业。

二、材质机理与核心技术参数

市面上多数防静电软管采用表层喷涂导电涂层方案，反复弯折摩擦后涂层剥落，ESD 性能快速衰减，存在隐性失效风险。福乐 851-L 采用导电聚氨酯弹性体

双层复合一体挤出工艺，导电组分均匀掺混在基材内部，属于本体导电结构，磨损后导电、防静电指标依然稳定，适配 24 小时连续量产产线。

电阻率区间落在半导体行业 ESD 管控优区间，可平稳泄放摩擦静电，同时避免直接导通短路；宽温域特性保障低温不脆、常温不蠕变软化，适配无尘车间、

检测实验室多变的局部温度环境。管材内壁精加工平滑处理，低析出、低发尘，不会向管路气流释放微粒，规避晶片表面二次污染问题。

三、核心技术优势

1. 本体式 ESD 防护，长期可靠性更高

导电成分内嵌于聚氨酯基材，不存在涂层脱落失效问题。上万次伸缩疲劳测试验证，长期高频弯折、拖拽后，静电泄放能力稳定，消除 “间歇性静电损伤" 

这类难以复现、难以排查的产线良率问题，是 Si、SiC、GaN 静电敏感晶片搬运的基础保障。

2. 螺旋自回弹结构，优化无尘工位操作

螺旋弹簧结构自带伸缩回弹特性，操作人员移动吸笔拾取晶片时管线随动作拉长，松手后自动回缩。有效避免管线拖拽、缠绕晶圆盒与治具，

减少拉扯真空泵接口，缩小工作台干涉区域，改善作业动线，降低人工操作失误概率。收缩状态体积紧凑，不占用洁净工作台有限空间。

3. 大内径通径，负压流量充足，杜绝大晶圆掉片

对比 851-M 小号，4mm 通径带来更高通气流量。在 6～8 寸大晶圆拾取场景，吸笔需要更大负压维持吸附力，851-L 可以稳定输送负压，

避免管路节流造成吸附力不足、晶圆滑脱掉片，保证大尺寸薄片拾取的稳定性。

4. 出厂预接接头，即装即用，降低装配风险

两端预装原厂标准接头，到货后无需裁切、粘接、二次加工，直接对接福乐 FV 系列真空泵与 C/F 系列真空吸笔，减少现场加工带来的漏气、

碎屑污染风险，快速上线。接头根部做加固强化，反复拉扯工况下不易松脱漏气，减少产线停机更换频次。

四、适配选型与使用边界

适配设备

真空泵：FV-10、FV-30、FV-60、FV-XP 隔膜真空泵；吸笔：C002、C007、F002、F007 大负载手持真空吸笔；适用工件：6～8 寸硅晶圆、

碳化硅、氮化镓裸晶片、大尺寸光学基板、石英薄片。

选型区分建议

• 2～4 寸小晶片、活动范围小、流量需求低 → 选用 851-M；

• 6 寸及以上大晶圆、大负载吸笔、要求充足负压流量 → 选用 851-L。

使用注意事项

该型号为干式无尘管路，适用于洁净干燥环境；不建议长期浸泡、持续接触酸碱溶剂，湿法制程槽区周边使用时需要做好隔离防护，

避免聚氨酯材质被药液侵蚀老化。作为消耗件，应定期检查外观裂纹、硬化情况，同步复核防静电性能，到期更换。

五、典型应用场景

1. 半导体硅晶圆：6～8 寸硅片上下料、目视检测、显微镜观测转移；

2. 宽禁带半导体：SiC、GaN 裸芯片分选、检测、人工拾取；

3. 光学与显示行业：光学玻璃、石英基板、OLED 薄片无尘搬运；

4. 研发实验室：高校、企业无尘试验台样品小批量转移。

六、总结

在晶圆良率管控越来越严苛的当下，ESD 防护是一套完整链路，不能只关注吸嘴与吸笔本体。FLUORO 福乐 851-L 依靠本体导电基材、大流量通径、

低发尘洁净设计，补齐了真空拾取管路的静电防护短板，兼顾操作便捷性与负压输送稳定性，是大尺寸晶片无尘人工拾取工位的成熟配套方案。

很多产线不明原因的零星静电报废，根源就在于真空软管防静电性能衰减，一套完整可靠的拾取系统，应当把 851-L 这类 ESD 管路纳入标准配置。