洁净真空核心动力：ULVAC CR30B 多级罗茨干式真空泵技术解析

ULVAC（爱发科）CR30B 是 CR 系列 Ver.B 风冷式多级罗茨干泵的主力机型，由高斯摩国际原装供应。它以无油洁净、空冷免水、气镇耐湿、低维护长寿命四大核心优势，实现 30 m³/h 抽速与≤2 Pa 极限真空，精准匹配半导体、光伏镀膜、工业真空干燥等中高真空洁净工艺需求，是工业干式真空系统的优选核心设备。

一、核心工作原理：多级罗茨非接触压缩

• 气体由吸气口进入，经各级罗茨腔逐步压缩，最终从排气口排出，压缩比高且过程无机械磨损。

• 无油设计消除油蒸汽返流风险，从源头保障真空腔室与工艺介质的洁净度，适配高精度洁净工艺。

• 非接触运转无粉尘产生、无部件磨损，年均性能漂移＜0.1%，长期运行稳定性强，大幅延长设备使用寿命。

二、核心技术优势：四大壁垒，适配严苛工况

1. 无油洁净，杜绝污染

• 泵腔零真空油设计，无油蒸汽返流，适配半导体溅射 / 蒸发、光学镀膜、真空退火等高洁净度要求工艺。

• 转子与气缸非接触运转，无机械摩擦、无粉尘生成，避免工艺污染，提升产品良率。

2. 空冷节能，免水免维护

• 强制风冷设计：无需冷却水、无需氮气吹扫，简化现场管路布局，降低基建与运维成本 30%+。

• 标配DC 密封电机：1.5 kW 低功耗，高效节能、气密性强、轻量化设计，运行噪音低至约 65 dB，适配车间长期连续运转。

3. 标配气镇，耐水汽工况

• 内置气镇（Gas Ballast）机构，可安全抽除水蒸气，最大水蒸气处理量＜500 g/h，适配真空干燥、溶剂回收、冷冻干燥等含水工况。

• 泵腔材质适配洁净气体与弱腐蚀性介质，抗腐蚀、稳定性强，拓展工况适配范围。

4. 紧凑可靠，安装灵活

• 整机仅48 kg，尺寸约 521×240×244 mm，体积小巧，支持落地 / 机架 / 壁挂多方式安装，便于设备集成与现场布局。

• 符合CE、cTUVus 国际认证，防护等级可选 IP54，适配全球工业安全标准，运行安全可靠。

三、关键技术参数（CR30B）

四、典型应用场景

1. 半导体 / 电子制造

• 溅射、蒸发、PVD/CVD 镀膜设备配套，提供洁净中高真空环境。

• 真空排气台、晶圆制程真空控制，保障工艺稳定性与产品良率。

2. 光伏 / 光学镀膜

• 真空镀膜机（AR/AF 膜、金属膜）、真空炉、真空退火设备，适配精密镀膜与热处理工艺。

3. 工业制造

• 真空干燥、真空脱气、溶剂回收、冷冻干燥，适配含水汽工况。

• 真空焊接、真空包装、检漏仪前级泵，保障真空度稳定。

4. 科研 / 实验室

• 中高真空系统、分析仪器（质谱 / 色谱）、环境模拟设备，适配精密实验真空需求。

五、选型参考（CR 系列 Ver.B）

六、高斯摩国际｜原装正品・全链路服务

• ✅ 日本原装正品，CE/RoHS 认证，可溯源，2 年质保。

• ✅ 成都 / 深圳双仓备货，常规型号现货直发，缩短交付周期。

• ✅ 免费选型指导、安装调试、技术培训，全流程技术支持。

• ✅ 售后维保服务，快速响应，降低运维成本，保障设备长效运行。