洁净大抽速主力：ULVAC CR60B 多级罗茨干式真空泵

ULVAC（爱发科）CR60B 是 CR 系列 Ver.B 风冷多级罗茨干泵的大流量主力机型，由高斯摩国际原装供应。主打无油洁净、空冷免水、气镇耐湿、大抽速高真空、低维护长寿命，提供 55 m³/h 抽速与 ≤2–3 Pa 极限真空，适配半导体、光伏镀膜、工业真空干燥 / 脱气等中大流量、中高真空洁净工艺，是量产型真空系统的优选核心设备。

一、核心工作原理：多级罗茨非接触压缩

• 气体由进气口进入，经多级罗茨腔逐级压缩，从大气压直抽到高真空，压缩比高、抽气效率强。

• 无油设计杜绝油蒸汽返流污染，保障腔室与工艺介质洁净，适配高精度制程。

• 非接触运转无机械磨损、无粉尘生成，年均性能漂移极低，长期稳定、寿命长。

二、核心技术优势（五大核心）

1. 无油洁净，高纯度真空

• 泵腔无油设计，无油蒸汽返流，适配半导体溅射 / 蒸发、光学镀膜、真空退火等高洁净工艺。

• 转子与气缸非接触运转，无摩擦、无粉尘，避免污染，提升良率。

2. 大抽速 + 高真空，量产高效

• 最大抽速 55 m³/h（≈917 L/min），极限真空 ≤3 Pa（CR60B‑S）/ ≤0.5 Pa（CR60B‑T），快速建压、真空稳定。

• 多级压缩结构，抽气效率高、真空度波动小，适合连续量产线。

3. 空冷节能，免水免维护

• 强制风冷：无需冷却水、无需氮气吹扫，简化管路、降低基建与运维成本。

• 标配 DC 密封电机（2.2 kW）：高效节能、气密可靠、轻量化，噪音约 65 dB，适合车间长期运行。

4. 标配气镇，耐水汽工况

• 内置气镇（Gas Ballast）机构，安全抽除水蒸气，最大耐水蒸气流率 ＜500 g/h，适配真空干燥、溶剂回收、冻干等含水工况。

• 泵腔材质适配洁净气体与弱腐蚀介质，抗腐蚀、稳定性强。

5. 紧凑可靠，安装灵活

• 整机 75 kg，尺寸约 600×280×280 mm，支持落地 / 机架 / 壁挂安装，易集成、布局灵活。

• 符合 CE、cTUVus 国际认证，防护等级可选 IP54，全球通用、安全可靠。

三、关键技术参数（CR60B）

四、典型应用场景

1. 半导体 / 电子制造

• 溅射、蒸发、PVD/CVD 镀膜设备配套，提供洁净中高真空。

• 真空排气台、晶圆制程真空控制，稳定量产、提升良率。

2. 光伏 / 光学镀膜

• 真空镀膜机（AR/AF 膜、金属膜）、真空炉、真空退火，适配精密镀膜与热处理。

3. 工业制造

• 真空干燥、真空脱气、溶剂回收、冷冻干燥，适配含水汽工况。

• 真空焊接、真空包装、检漏仪前级泵，真空稳定可靠。

4. 科研 / 实验室

• 中高真空系统、分析仪器（质谱 / 色谱）、环境模拟设备，精密实验真空保障。

五、选型参考（CR 系列 Ver.B）

六、高斯摩国际｜原装正品・全链路服务

• ✅ 日本原装正品，CE/RoHS 认证，可溯源，1年质保。

• ✅ 成都 / 深圳双仓备货，常规型号现货直发，缩短交付周期。

• ✅ 免费选型指导、安装调试、技术培训，全流程技术支持。

• ✅ 售后维保服务，快速响应，降低运维成本，保障长效运行。

总结