EBARA荏原 EV-S干式真空泵 S型为独立安装的罗茨型干泵，有着从轻制程工艺（如：load lock、SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用范围。拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附加功能的同时，实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 “。

EBARA荏原 EV-S干式真空泵 S型为独立安装的罗茨型干泵，有着从轻制程工艺（如：load lock、SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用范围。拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附加功能的同时，实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 “。

EBARA荏原 EV-S干式真空泵 S型为独立安装的罗茨型干泵，有着从轻制程工艺（如：load lock、SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用范围。拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附加功能的同时，实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 “。

EBARA荏原 EV-S干式真空泵 S型为独立安装的罗茨型干泵，有着从轻制程工艺（如：load lock、SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用范围。拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附加功能的同时，实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 “。

EBARA荏原 EV-S干式真空泵 S型为独立安装的罗茨型干泵，有着从轻制程工艺（如：load lock、SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用范围。拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附加功能的同时，实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 “。

EBARA荏原 EV-S干式真空泵 S型为独立安装的罗茨型干泵，有着从轻制程工艺（如：load lock、SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用范围。拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附加功能的同时，实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 “。

EBARA荏原 EV-S干式真空泵 S型为独立安装的罗茨型干泵，有着从轻制程工艺（如：load lock、SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用范围。拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附加功能的同时，实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 “。

EBARA荏原 EV-S干式真空泵 S型为独立安装的罗茨型干泵，有着从轻制程工艺（如：load lock、SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用范围。拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附加功能的同时，实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 “。

EBARA荏原 EV-S干式真空泵 S型为独立安装的罗茨型干泵，有着从轻制程工艺（如：load lock、SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用范围。拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附加功能的同时，实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 “。

EBARA荏原 EV-S干式真空泵 S型为独立安装的罗茨型干泵，有着从轻制程工艺（如：load lock、SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用范围。拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附加功能的同时，实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 “。