多通道分光光谱仪
本公司的MCPD series，由于采用柔软纤维的事，从In-Situ到内联各种各样的地方和用途的编入成为可能。测量原理为分光干涉方式，在实现高测量再现性的同时，还支持多层厚度测量。

多通道分光光谱仪

多通道分光光谱仪

本公司的MCPD series，由于采用柔软纤维的事，从In-Situ到内联各种各样的地方和用途的编入成为可能。测量原理为分光干涉方式，在实现高测量再现性的同时，还支持多层厚度测量。

特　点

● 膜厚测量范围65nm～92μm（换算为SiO2）

● 最短曝光时间1ms~※根据规格

● 由于是柔性纤维光学系统，容易组装到半导体工艺装置中

● 可从上层远程控制

● 适合于研磨中膜厚终点检测

基本配置

装置组装示意图

测量案例

适应过程示例

CMP工艺

蚀刻工艺

成膜工艺

MCPD-6800仕様

代理品牌：CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、NPM日脉  、SUGIYAMA杉山

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西、 HAYASHI 林时计

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣

HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基