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KOFLOC科赋乐 旋转式针阀流量控制器
KOFLOC科赋乐 旋转式针阀流量控制器
我们开发本产品作为一款中间机型针阀,介于< KOFLOC>畅销精密针阀MODEL 2412和紧凑型简易针阀MODEL 2400之间。
借助工匠技艺加工,由禁油零件组装而成,可应用于生理盐水等医疗领域。
禁油规格(无油脂)
所有部件均由禁油规格构成、组装,可用于医疗、生物等所有领域。
精密加工,多圈旋转针
即使属于旋转式针也因多圈旋转,具有良好的控制特性。
可通过特殊结构关闭
采用在针/流孔的每面进行关闭的结构,具有稳定的操作性、重现性。
(但无法保证全部关闭。)
技术优势
热式技术(气体):
基于热扩散原理,直接测量气体质量流量(无需温压补偿)。
低流量灵敏度:可检测0.1 sccm(如半导体工艺气体控制)。
压差式技术(液体):
通过层流元件产生压差,线性输出流量信号。
耐腐蚀设计:接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。
智能功能:
数字通信(RS-485、Modbus、DeviceNet)。
自诊断报警(流量超限、传感器异常)。
典型应用场景
半导体制造
案例:晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制(RK-1200系列)。
要求:流量稳定性±0.5%,响应时间<1秒。
配置:钛合金流道(耐Cl₂腐蚀)+ 防爆认证(Ex d IIC T6)。
光伏产业
案例:硅烷(SiH₄)气体输送(MFC-3000系列)。
挑战:硅烷易燃易爆,需杜绝泄漏风险。
方案:全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。
化工流程
案例:腐蚀性液体(如盐酸)定量添加(RK-2400系列)。
材质选择:哈氏合金C276流道 + PTFE密封
调节螺丝转数 | 约10转 |
---|---|
最大使用压力 | 0.6MPa |
流体接触部分材质 | SUS304、PP 氟橡胶(部分氟树脂涂层) |
连接端口 | Rc1/4 |
最高使用温度 | 80℃ |
目标 | 气体:Air、N 2 、O 2等 液体:水、生理盐水等 |