KOFLOC科赋乐 液体用恒定流量阀
该装置是为液体开发的不锈钢制和聚氯乙烯制恒定流量阀，面对一次侧的压力波动和二级侧的压力波动仍然可以恒定控制液体流量。

KOFLOC科赋乐 液体用恒定流量阀

KOFLOC科赋乐 液体用恒定流量阀

优异的液体恒定流量阀特性

由高精度部件组成的阀门可以进行平稳调节。

不受压力波动的影响

面对一次侧压力波动以及二次侧（出口侧)压力波动，仍然可以保持恒定流量。

可以从微流量10ML/MIN开始进行控制

在隔膜上腔和下腔中采用气泡去除结构

通过在初始流量设定时去除气泡，从而实现精确调整。

用途

适用于分析仪

适用于环境测量仪器相关领域

适用于液体混合设备

技术优势

热式技术（气体）：

基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。

低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。

压差式技术（液体）：

通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。

耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。

智能功能：

数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自诊断报警（流量超限、传感器异常）。

典型应用场景

半导体制造

案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。

配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。

光伏产业

案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。

挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。

方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。

化工流程

案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。

材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封