Osaka Vacuum大阪真空 干式真空泵
紧凑、轻便、抗干扰。 正时无齿轮结构减轻了重量；由于采用正时无齿轮结构，因此没有机械噪音。 外罩配有隔音功能。

Osaka Vacuum大阪真空 干式真空泵

■ 在节能、体积小、轻量化方面是同类产品中好的干式真空泵之一。

极限压力下的功耗：400W 占地面积

：0.11m2

重量：60 kg

■ 根据用途提供产品规格。

ER100D：非常适合轻负载排气和清洁工艺

ER100DC：使用具有高耐腐蚀性的材料来承受腐蚀性气体排放

Osaka Vacuum大阪真空 干式真空泵

对于易发生反应产物积累的器件，该系列采用我们特创的保温结构和自热机构，显著降低反应产物的沉积速率。

・清洁排气

、溅射设备、粗拉

、TMP等高真空泵的辅助泵

、负载锁室、运输室排气

、小型实验设备排气、吸附

和测量系统

、分析和测量设备

排气、小型炉排气

・电子枪源、离子枪源排气

便携式：

紧凑、轻便、抗干扰。 正时无齿轮结构减轻了重量。

提高实用便利性标

配气镇机构。 由于是风冷式，因此无需准备冷却水。

无

油正时无齿轮结构可实现免润滑设计。

低噪音：

由于采用正时无齿轮结构，因此没有机械噪音。 外罩配有隔音功能。

采用低振动

螺杆式转子，防止排气脉动。

与节能

竞争对手相比，它实现了低功耗。

清洁的排气油由于

没有像旋转真空泵那样的油蒸气或颗粒回流，因此实现了非常清洁的排气。

高速抽空可在接近大气压时实现高抽速。

符合 CE 安全标准