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Osaka Vacuum大阪真空干式真空泵

产品型号：ER100DC
厂商性质：经销商
更新时间：2025-03-31
访问量：50

简要描述：

Osaka Vacuum大阪真空干式真空泵
在节能、体积小、轻量化方面是同类产品中好的干式真空泵之一。

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联系电话：028-87319898

产品详情

Osaka Vacuum大阪真空干式真空泵

■ 在节能、体积小、轻量化方面是同类产品中好的干式真空泵之一。

极限压力下的功耗：400W 占地面积

：0.11m2

重量：60 kg

■ 根据用途提供产品规格。

ER100D：非常适合轻负载排气和清洁工艺

ER100DC：使用具有高耐腐蚀性的材料来承受腐蚀性气体排放

Osaka Vacuum大阪真空干式真空泵

对于易发生反应产物积累的器件，该系列采用我们特创的保温结构和自热机构，显著降低反应产物的沉积速率。

・清洁排气

、溅射设备、粗拉

、TMP等高真空泵的辅助泵

、负载锁室、运输室排气

、小型实验设备排气、吸附

和测量系统

、分析和测量设备

排气、小型炉排气

・电子枪源、离子枪源排气

型		ER100D/ER100DC （耐腐蚀型）
抽速（L/min）		1670
测试极限压力（Pa）		5.0
极限压力下的功耗（W）		400
权力	电压（V）	200-220
	频率（Hz）	50/60
	相数	三个阶段
	电源容量（kVA）	3.2
N2 吹扫气体流速（Pa·m3/s）		17-20
冷却方式		水冷式
冷却水量　（L/min）		1.5-3.0
冷却水温度（°C）		最多 30 个
重量（kg）		60

[支持的气体种类]

根据吸入气体的类型，可能会导致内部组件劣化。

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