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Osaka Vacuum大阪真空 干式真空泵
■ 在大气压下连续运行 800 L/min 开路时
排气速度
■ 可吸入水蒸气
水蒸气处理能力：500g/hr
■ 缩短排气时间 保持恒定的抽速，直到接近
到达终点
■ 风冷型
Osaka Vacuum大阪真空 干式真空泵
对于易发生反应产物积累的器件，该系列采用我们特创的保温结构和自热机构，显著降低反应产物的沉积速率。
・小型
实验排气
和负载锁室的抽真空
、吸附和运输
、运输、分析和测量设备，以及加速器的排气
、密封和密封
・电子
枪源、离子枪源排气、干燥
、溅射沉积、小炉排气
等 PVD
设备排气、用于高真空泵的辅助泵，例如 TMP
| 型 | FR060D 系列 | ||
| 抽速 （L/min） | 最大 | 1000 | |
| 开路作中 | 800 | ||
| 测试极限压力 （Pa） | 通常 | 1.0 | |
| 气镇时 | 2.0 | ||
| 连接格式 | 进气口 | 千分（NW）40 | |
| 排气口 | 千分（NW）40 | ||
| 最大蒸汽吞吐量※1 （克/小时） | 500 | ||
| 润滑油量 （mL） | 90 | ||
| 功耗 （kW） | 在极限压力下 | 1.1 | |
| 最大 | 1.3 | ||
| 权力 | 电压 （V） | 200-240 | |
| 频率 （Hz） | 50/60 | ||
| 相数 | 单相/三相 | ||
| 允许的电压波动※2 | ±10% | ||
| 电源容量 （kVA） | 3.0 | ||
| 电流 （A） | 单相的 | 11.1 | |
| 三个阶段 | 6.5 | ||
| 冷却方式 | 风冷 | ||
| 近似质量 （kg） | 75 | ||
| 环境温度 （°C） | 5-40 | ||
我的位置：
地址：四川成都市高新区天府大道中段500-1号东方希望天祥广场C座4527室
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