Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵
对于易发生反应产物积累的器件，该系列采用我们特创的保温结构和自热机构，显著降低反应产物的沉积速率。

Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵

省电设计，运行数据、触地计数、型号信息等可以存储在主机中 * 即使在大修期间更换控制器，也可以传输数据。

各种通信规格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT

国际标准：NRTL/SEMI-S2/CE

Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵

用于反应产物的 TG-MI 系列涡轮分子泵的特点

对于易发生反应产物积累的器件，该系列采用我们特创的保温结构和自热机构，显著降低反应产物的沉积速率。

传统的方法是加热整个周围区域

，包括反应产物的目标部分

对策，并分散热量。

・无法有效使用。

・对目标区域以外的区域的热效应

TG-MI系列采取的措施

除了通过外部加热器提高温度外，还可以有效地利用泵内部产生的吸入气体的摩擦热，有效地提高气体接触部分的温度

，减少外部加热器的输出功率，提高节能效果！

・减少对主要部件的热影响，减少对泵的损伤。

・排气管也采用隔热材料。 保持最佳温度并防止产品在排气管中形成。

结构与工作原理

（1）核心组件

转子叶片：多级铝合金或钛合金涡轮叶片（转速约20,000~90,000 RPM）。

定子叶片：与转子交错排列，形成气体通道。

电机：高频交流电机或磁悬浮轴承电机（避免机械磨损）。

排气口：连接前级泵（如旋片泵），排出压缩后的气体。

（2）工作原理

动量传递：高速旋转的叶片撞击气体分子，使其向下级运动（分子流态下有效）。

压缩比：每级叶片对气体进行压缩，最终由前级泵排至大气。

工作压力范围：依赖分子流状态（需气体分子平均自由程＞叶片间距）。

📌 注：涡轮分子泵在**分子流态（压力＜10⁻¹ Pa）**下效率高，需避免大气压下启动（会过热损坏）。