EBARA荏原 EST干式真空泵
EST型采用螺杆型转子，可应对CVD等工艺副产物的生成，并具备大流量抽气、耐腐蚀性、抽气速率可变、通信功能等额外功能。

EBARA荏原 EST干式真空泵

EST型采用螺杆型转子，可应对CVD等工艺副产物的生成，并具备大流量抽气、耐腐蚀性、抽气速率可变、通信功能等额外功能。

EBARA荏原 EST干式真空泵

●可满足副产物生成的工艺

（泵内气体可保持高温）；

●抽气速率高、流量大；

●搭载转速自动控制功能

（自适应气体流量大小）；

●可应对腐蚀性气体

（标配耐腐蚀性材料）；

●搭载高性能通信功能；

●优良的控制管理方式

（数据保存功能、警报履历备份）。

核心技术特性

无油设计：采用多级压缩或爪式/螺杆式转子结构，通过精密机械密封实现无油运行，避免油蒸气污染，适合洁净环境（如半导体、生物实验室）。

耐腐蚀材料：核心部件使用不锈钢、陶瓷涂层或特殊合金，可耐受腐蚀性气体（如酸性、碱性介质）。

高效节能：优化转子动力学设计，能耗较传统油式泵降低30%~50%，支持变频调速（20%~100%流量调节）。

低维护成本：无需定期更换油液，维护周期长达8,000~12,000小时，显著减少停机时间。

用户体验与核心优势

洁净无污染：消除油蒸气反流问题，保护工艺介质与产品质量。

低噪音运行：噪声水平＜65 dB(A)，适合实验室及洁净车间环境。

智能监控：集成压力传感器与物联网模块，实时监测真空度、温度、振动，支持远程报警与故障诊断。

模块化设计：支持多泵并联或与分子泵、罗茨泵组成复合真空系统，覆盖0.1 Pa~1000 Pa宽范围真空需求。