EBARA荏原 EV-X干式真空泵
作为中等负荷工艺专用的干式真空泵，搭载荏原的节能技术，采用面向自动化工厂制造的优化模块设计，并进一步实现了小型化和节能。

EBARA荏原 EV-X干式真空泵

作为中等负荷工艺专用的干式真空泵，搭载荏原的节能技术，采用面向自动化工厂制造的优化模块设计，并进一步实现了小型化和节能。

EBARA荏原 EV-X干式真空泵

通过大范围的温度控制，扩大了适用工艺范围。因同一机型能够覆盖多种工艺，能够优化备用设备的库存，减少用于维护和培训的人力时间，并且能够灵活应对未来的工艺扩展。

●以大幅的温度控制实现大范围的工艺覆盖；

●低能耗、占地小；

●可耐受腐蚀性气体（采用标准耐腐蚀材料）；

●适用案例：各种蚀刻以及CVD、灰化、离子注入、外延生长等

核心技术特性

无油设计：采用多级压缩或爪式/螺杆式转子结构，通过精密机械密封实现无油运行，避免油蒸气污染，适合洁净环境（如半导体、生物实验室）。

耐腐蚀材料：核心部件使用不锈钢、陶瓷涂层或特殊合金，可耐受腐蚀性气体（如酸性、碱性介质）。

高效节能：优化转子动力学设计，能耗较传统油式泵降低30%~50%，支持变频调速（20%~100%流量调节）。

低维护成本：无需定期更换油液，维护周期长达8,000~12,000小时，显著减少停机时间。

用户体验与核心优势

洁净无污染：消除油蒸气反流问题，保护工艺介质与产品质量。

低噪音运行：噪声水平＜65 dB(A)，适合实验室及洁净车间环境。

智能监控：集成压力传感器与物联网模块，实时监测真空度、温度、振动，支持远程报警与故障诊断。

模块化设计：支持多泵并联或与分子泵、罗茨泵组成复合真空系统，覆盖0.1 Pa~1000 Pa宽范围真空需求。