EBARA荏原 ESA干式真空泵 ESA型在LCD溅镀、真空干燥、大型load-lock等需要高速抽气的场景表现出色。具备流量自适应转速调整、通信功能等额外功能。

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EBARA荏原 EST干式真空泵 EST型采用螺杆型转子，可应对CVD等工艺副产物的生成，并具备大流量抽气、耐腐蚀性、抽气速率可变、通信功能等额外功能。

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