EBARA荏原 EV-M干式真空泵 EV-M型可应用于在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中有副产物生成的重制程工艺。同时兼顾了对重制程工艺和节能的需求，实现了停机风险的减少和运行成本的降低。

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EBARA荏原 EV-S干式真空泵 S型为独立安装的罗茨型干泵，有着从轻制程工艺（如：load lock、SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用范围。拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附加功能的同时，实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 “。