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202610-27

EBARA 荏原 EV-PA500 风冷干式真空泵｜洁净真空轻量化方案解析

在精密分析、实验室、锂电及半导体前道小型腔体等场景，无油洁净真空源的选型一直是重点难题。传统旋片油泵存在油雾污染、定期换油维护繁琐；涡旋干泵在水汽耐受、连续长时间运行稳定性上存在短板。日本EBARA荏原EV-PA500作为EV-PA系列中大流量风冷干式罗茨真空泵，以无油、空冷、宽电压、内置气镇的综合特性，成为中小洁净真空工况主流替代方案。一、结构原理：多级非接触干式罗茨结构EV-PA500采用多级...

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