【高斯摩分享】 ULVAC爱发科 油扩散泵

ULVAC爱发科

油扩散泵

什么是油扩散泵？

　这是一种动量输送泵，利用油蒸气喷射为气体分子提供动量，将其输送至排气口并排出。

油扩散泵的特点

　油扩散泵由一个锅炉（用于加热油并产生蒸汽）、一个形状像伞状的喷嘴（喷射器）（用于向特定方向喷射蒸汽）和一个冷侧（用于冷凝蒸汽）组成。尽管其结构简单，但因其具有较高的抽速而闻名。它不能单独使用，必须与油旋转真空泵或类似泵配合使用作为辅助泵。

【优点】结构简单，排气速度快。

【缺点】高真空侧有油蒸气回流。

油扩散泵的工作原理

　装置底部的油被加热器加热并变成蒸汽。当蒸汽以超音速从喷射段喷出时，气体被从上部喷射段推至下部喷射段，并被携带至排气口。以蒸汽形式喷出的油在主体内壁冷却凝结，然后又恢复为油的原始状态。

油扩散泵的主要用途

　FPD制造设备、半导体制造设备、真空蒸馏、净化脱气、灭菌、干燥、脱水、消毒等。

油扩散泵应用行业：

半导体制造领域、化工、制药、食品行业、石油化工行业、

电力行业、冶金行业、新能源领域、医疗行业

1  ‌FPD制造设备中油扩散泵用于获得高真空环境，特别是在以下几个关键工艺环节：

刻蚀‌：用于去除硅片表面的材料。

镀膜‌：用于创造高真空环境，以确保薄膜的均匀沉积和良好的附着力。这对于制造高质量的集成电路和芯片至关重要‌。

‌晶圆加工‌：在晶圆加工过程中，油扩散泵提供的真空环境有助于控制晶圆的传输和处理，确保加工过程的稳定性和可靠性‌

单晶硅制造‌：在单晶硅的生长过程中，高真空环境有助于减少杂质和缺陷的形成，提高晶体的质量。

等离子处理‌：在等离子处理中，油扩散泵提供的高真空环境有助于提高等离子体的稳定性和均匀性，从而优化处理效果‌。

2 真空蒸馏油扩散泵通过降低系统压力，促使液体在较低温度下沸腾，从而分离混合物中的不同组分。这种设备在工业领域中起着关键作用，广泛应用于化工、制药和食品等行业。‌‌

3 净化脱气油扩散泵主要应用于以下行业‌：

石油化工‌：在石油化工行业中，油扩散泵用于石油产品的脱气处理，以提高产品的纯度和质量。例如，在润滑油生产过程中，脱气处理可以去除油中的气体和杂质，确保润滑油的性能稳定‌。

‌电力‌：在电力行业中，油扩散泵用于变压器油的脱气处理。变压器油在运行过程中会吸收水分和气体，影响其绝缘性能。通过脱气处理，可以恢复其绝缘性能，确保电力设备的正常运行‌。

‌冶金‌：在冶金行业中，油扩散泵用于钢铁生产过程中的脱气处理。去除钢铁生产中的气体杂质可以提高产品的质量和纯度，满足高标准的冶金要求‌。

‌新能源‌：在新能源领域，特别是太阳能和风能设备中，油扩散泵用于润滑油的脱气处理。高性能的润滑油需要低气体含量的基础油，以确保设备的长期稳定运行。

4 油扩散泵在灭菌、干燥、脱水、消毒等领域的应用主要集中在医疗、化工、食品加工等行业。‌

医疗行业

在医疗行业中，油扩散泵主要用于真空干燥和消毒灭菌设备。例如，真空干燥箱和真空灭菌器常使用油扩散泵来提供高真空环境，确保医疗设备和药品的干燥和灭菌效果。这些设备在手术室、实验室和药品生产中起着关键作用，确保无菌操作和环境控制‌。

化工行业

在化工行业中，油扩散泵用于各种化学反应和分离过程，特别是在高真空条件下进行的高纯度化学品生产和精炼过程中。通过提供稳定的高真空环境，油扩散泵有助于提高产品质量和工艺效率‌。

食品加工行业

在食品加工中，油扩散泵用于真空脱水处理，帮助去除食品中的水分，延长保质期并改善产品质量。例如，真空脱水技术在果蔬干燥、肉类加工和调味品生产中广泛应用，确保食品的卫生标准和延长保存时间‌。

具体应用案例

‌医疗设备‌：如真空干燥箱和真空灭菌器，使用油扩散泵提供高真空环境，确保医疗设备和药品的干燥和灭菌效果。

‌化工反应器‌：在高真空条件下进行化学反应和分离过程，提高化学品的纯度和生产效率。

‌食品加工设备‌：如真空脱水机，用于去除食品中的水分，延长保质期并改善产品质量。‌

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