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KOFLOC科赋乐浮子流量计

产品型号：RK1200
厂商性质：经销商
更新时间：2025-05-22
访问量：116

简要描述：

KOFLOC科赋乐浮子流量计
这是一款高级阀门流量计，结合了高精度流量计和可精确控制流量的针阀。该制品非常适用于计量控制微小流量。

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联系电话：028-87319898

产品详情

KOFLOC科赋乐浮子流量计

可实现超小流量控制

使用精密针阀

下方阀门和上方阀门两种类型

种类丰富

技术优势

热式技术（气体）：

基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。

低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。

压差式技术（液体）：

通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。

耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。

智能功能：

数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自诊断报警（流量超限、传感器异常）。

典型应用场景

半导体制造

案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。

配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。

光伏产业

案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。

挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。

方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。

化工流程

案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。

材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封

流体名称	Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（实际气体校正）其他气体换算校正，实际气体校正请另行咨询
流量范围（FS）	RK1100	10ML/MIN〜20L/MIN
	RK1100PV	10ML/MIN〜20L/MIN
	RK1100V	1L/MIN〜20L/MIN
精度	FS±2％（测量点）※可选：FS±1％（测量点）
耐压	0.5MPa
有效刻度	10：1 ※选项20：1

材质	S制	Aℓ制
主机区块等	SUS303・SUS304	Aℓ、SUS303
锥形管	硬质玻璃
密封材料	氟橡胶	NBR
浮标	硬质玻璃、SUS316
保护罩	丙烯
最高使用温度	60℃
连接端口	Rc1 / 4（标准）

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KOFLOC科赋乐浮子流量计
这是一款高级阀门流量计，结合了高精度流量计和可精确控制流量的针阀。该制品非常适用于计量控制微小流量。

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