相关文章
Related articles联系电话:028-87319898
KOFLOC科赋乐 浮子流量计
KOFLOC科赋乐 浮子流量计
易于拆卸、组装
仅靠螺丝刀、扳手就能轻松拆卸,因此适合用于需要频繁清洗或更换管子的情况。
精心设计
该产品的零部件中采用了许多成型加工品,与缎面氧化铝体相结合,精心设计而成。
高精度流量计
采用与高精度流量计RK1450同等精度的流量计管。
带阀门(1100V、1100PV)阵容
带阀门设备齐全,包括:精密针阀1100PV型和简易针阀1100V型。
用途
用于各种测量设备的整合
用于管道线的测量
用于压缩机
用于半导体相关设备
技术优势
热式技术(气体):
基于热扩散原理,直接测量气体质量流量(无需温压补偿)。
低流量灵敏度:可检测0.1 sccm(如半导体工艺气体控制)。
压差式技术(液体):
通过层流元件产生压差,线性输出流量信号。
耐腐蚀设计:接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。
智能功能:
数字通信(RS-485、Modbus、DeviceNet)。
自诊断报警(流量超限、传感器异常)。
典型应用场景
半导体制造
案例:晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制(RK-1200系列)。
要求:流量稳定性±0.5%,响应时间<1秒。
配置:钛合金流道(耐Cl₂腐蚀)+ 防爆认证(Ex d IIC T6)。
光伏产业
案例:硅烷(SiH₄)气体输送(MFC-3000系列)。
挑战:硅烷易燃易爆,需杜绝泄漏风险。
方案:全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。
化工流程
案例:腐蚀性液体(如盐酸)定量添加(RK-2400系列)。
材质选择:哈氏合金C276流道 + PTFE密封