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KOFLOC科赋乐 质量流量计
KOFLOC科赋乐 质量流量计
它是一款全金属MFC，配备高速绕线传感器，具有出色的内部开发稳定性。
SEMI兼容106mm（可选择124mm）表面，RS485通信是标准配置。
高精度腐蚀性气体兼容产品，1.0％SP。
金属密封结构高速应答及出色的零点稳定性0-5V或4-20mA输入/输出信号，电源可从±15 V或24 V单电源选择□电源连接器采用通用性较高的D-sub9针连接器通过切换旋转开关，可以使用主机中登记的气体类型。
※流量是与N2气体的比率计算出的值
标准配备通讯功能（RS485）
符合RoHS•CE标准
技术优势
热式技术（气体）：
基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。
低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。
压差式技术（液体）：
通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。
耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。
智能功能：
数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自诊断报警（流量超限、传感器异常）。
典型应用场景
半导体制造
案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。
配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。
光伏产业
案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。
挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。
方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。
化工流程
案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。
材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 形式 | 质量流量控制器 EX-250SC | 质量流量计 EX-250SM | |
|---|---|---|---|
| 传感器方式 | 热绕组传感器 | ||
| 阀门方式 | 比例螺线管阀门（未通电时关闭） | – | |
| 目标气体（* 1） | N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未列出的气体换算成N2） | ||
| 流量范围（* 2） | 10 SCCM~5 SLM | ||
| 控制范围（测量范围） | 2~100％（F.S.） | ||
| 响应速度 | 总流量控制范围在1sec内（within±2%F.S.） | ||
| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa | – | ||
| 精度（* 3） | ±1.0%F.S. | ||
| 再现性 | ±0.2%F.S. | ||
| 工作压差（* 4） | 50~300 kPa（Ar，CO2：100 kPa~300 kPa） | – | |
| 最大入口压力 | 500kPa（G） | ||
| 耐压 | 980kPa（G） | ||
| He泄漏率（* 5） | 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下 | ||
| 温度 | 允许周围温度 | 5～50℃ | |
| 精度保证温度 | 15～35℃ | ||
| 允许储存温度 | -10～60℃ | ||
| 允许环境湿度 | 10～90%RH （无结露） | ||
| 气体接触材料 | SUS316，SUS316L，磁性不锈钢（* 6），PTFE，FKM | ||
| 电气连接 | Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准） HR-10A | ||
| 流量设定输入信号 | 0~5 VDC（输入电阻约1MΩ） Or 4~20mA（输入电阻约250Ω） | – | |
| 流量输出信号 | 0~5 VDC（负载电阻10kΩ以上） or 4~20mA（负载电阻500Ω以下） | ||
| 数字通信 | 通过RS485旋转开关设置地址 | ||
| 所需电源（DC） | +15 VDC（±5％）100 mA以下，-15 VDC（±5％）150 mA以下 or+ 24VDC（±10％）180mA以下（MFM都为100mA以下） | ||
| 接头（* 7） | 1/4F900（标准） | ||
| 安装姿势 | 推荐水平方向 | ||
| 重量（* 8） | 约500g | 约440g | |
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