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Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵
・半导体制造
・电子枪排气、离子源排气
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・表面处理、表面改性
・各种电子元件的制造
・分析、检测设备
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・加速器、放射线设施、聚变研究
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* 排放腐蚀性气体时,请选择化学相容性 TG-M 或 TG 系列。
Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵
■ 高 H2压缩比
■ 即使在高背压下也可以连续运行,排气性能稳定。
■ 内置控制器
■ 安装姿势 360 度灵活
■ 抗振动,即使在泵运行期间也可移动
[ 支持的气体类型 ]
根据吸入气体的类型,它可能会使轴承润滑脂和内部组件变质。 请联系我们了解兼容的气体类型。
[ 工作环境温度 ]
极限压力保证环境温度为 10~23°C。 允许环境温度为 8~38°C。
型 | TG240F 系列 | |
进气法兰 | CF100/ISO-R100 认证 | |
抽速 | N2 (升/秒) | 240 |
N2(带保护网) (升/秒) | 230 | |
H2 (升/秒) | 160 | |
最大压缩比 | N2 | 1×108 |
H2 | 4×104 | |
极限压力 | ISO-R(Pa/Torr) | <1×10-6/<7.5×10-9 |
CF(Pa/Torr) | <5×10-7/<3.8×10-9 | |
最大气体流速※1 | N2 (SCCM) | 70 |
启动时间 | (分钟) | 5.5-6 |
允许的辅助压力 | (帕/托尔) | 700/5.3 |
推荐的辅助泵 | (升/分钟) | ≧80 |
安装姿势 | 自由 | |
质量 | ISO-R/CF(千克) | 7.3/10.5 |
控制器类型 | TC245 (集成)※2 | |
输入电压 (V) | DC24V 直流 | |
最大功率要求 (W) | 75瓦 |