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Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵

产品型号：TG240F
厂商性质：经销商
更新时间：2025-03-27
访问量：139

简要描述：

Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵
灵活的安装姿势、紧凑的尺寸、节能、快速启动、可快速停止排气、能够进入大气层、可以进行串行通信

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联系电话：028-87319898

产品详情

Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵

・半导体制造

・电子枪排气、离子源排气

・FPD 制造

・表面处理、表面改性

・各种电子元件的制造

・分析、检测设备

・管材、光学元件的制造

・加速器、放射线设施、聚变研究

・热处理

・研发

* 排放腐蚀性气体时，请选择化学相容性 TG-M 或 TG 系列。

Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵

■ 高 H2压缩比

■ 即使在高背压下也可以连续运行，排气性能稳定。

■ 内置控制器

■ 安装姿势 360 度灵活

■ 抗振动，即使在泵运行期间也可移动

[ 支持的气体类型 ]

根据吸入气体的类型，它可能会使轴承润滑脂和内部组件变质。请联系我们了解兼容的气体类型。

[ 工作环境温度 ]

极限压力保证环境温度为 10~23°C。允许环境温度为 8~38°C。

型		TG240F 系列
进气法兰		CF100/ISO-R100 认证
抽速	N2 （升/秒）	240
	N2（带保护网）（升/秒）	230
	H2 （升/秒）	160
最大压缩比	N2	1×108
最大压缩比	H2	4×104
极限压力	ISO-R（Pa/Torr）	<1×10-6/<7.5×10-9
极限压力	CF（Pa/Torr）	<5×10-7/<3.8×10-9
最大气体流速※1	N2 （SCCM）	70
启动时间	（分钟）	5.5-6
允许的辅助压力	（帕/托尔）	700/5.3
推荐的辅助泵	（升/分钟）	≧80
安装姿势		自由
质量	ISO-R/CF（千克）	7.3/10.5
控制器类型		TC245 （集成）※2
输入电压（V）		DC24V 直流
最大功率要求（W）		75瓦

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