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Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵

产品型号：TG220F
厂商性质：经销商
更新时间：2025-03-27
访问量：73

简要描述：

Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵
灵活的安装姿势、紧凑的尺寸、节能、快速启动、可快速停止排气、能够进入大气层、可以进行串行通信

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联系电话：028-87319898

产品详情

Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵

・半导体制造

・电子枪排气、离子源排气

・FPD 制造

・表面处理、表面改性

・各种电子元件的制造

・分析、检测设备

・管材、光学元件的制造

・加速器、放射线设施、聚变研究

・热处理

・研发

* 排放腐蚀性气体时，请选择化学相容性 TG-M 或 TG 系列。

Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵

灵活的安装姿势

紧凑的尺寸

节能

快速启动

可快速停止排气

与大气层入口兼容* 经过验证的 400 次大气涌动测试

可以进行串行通信

符合安全标准的 NRTL/SEMI-S2/CE

[ 工作环境温度 ]

极限压力保证环境温度为 10~23°C。允许环境温度为风冷 10~32°C，水冷 10~40°C。极限压力保证：冷却水温度不大于30°C，允许冷却水温度为10~35°C。

[ 支持的气体类型 ]

根据吸入气体的类型，它可能会使轴承润滑脂和内部组件变质。请联系我们了解兼容的气体类型。

型		TG220F 系列
进气法兰		VG100/ISO-R100/CF100
抽速	N2 （升/秒）	220
	N2（带保护网）（升/秒）	210
	H2 （升/秒）	100
最大压缩比	N2	1×108
最大压缩比	H2	4×102
极限压力	（帕/托尔）	<1×10-6/<7.5×10-9
最大气体流速※1	（SCCM）	400
启动时间	（分钟）	1-1.2
停机时间	（分钟）	2.5-3.5
允许的辅助压力	（帕/托尔）	260/2
推荐的辅助泵	（升/分钟）	≧80
安装姿势		自由
质量	VG/ISO-R/CF（千克）	5.5/8
控制器类型		TC223 系列

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