KOFLOC科赋乐 压力调节阀
低压调节专用精密调节器 压力调节阀 与MODEL6600相比，新开发的本仪器在低压侧精度更高，重现性更好，能够快速准确地进行压力调节。本产品*适合用于高灵敏度的分析仪器、研究开发或半导体制造设备。

KOFLOC科赋乐 压力调节阀

KOFLOC科赋乐 压力调节阀

具有低压侧高精度控制的特性
将压力设为0.01〜0.15MPa，在此条件下对于一次侧压力变化、二次侧负荷电阻变化，具有重现性在±1％以内的高控制性能。
不使用润滑油
接触气体部分由不锈钢、氟橡胶、氟树脂制成，不使用任何润滑油，*适合需要保持纯净状态的半导体领域等。
 防松螺母结构
通过防松螺母固定设定过一次的压力调节位置，可防止设定发生变化。
 不渗液型
本产品属于不渗液型，不会发生气体外泄，请您放心使用。

用途
用于气相色谱仪
用于高纯度气体控制
用于低压控制设备
用于半导体领域等

技术优势

热式技术（气体）：

基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。

低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。

压差式技术（液体）：

通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。

耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。

智能功能：

数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自诊断报警（流量超限、传感器异常）。

典型应用场景

半导体制造

案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。

配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。

光伏产业

案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。

挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。

方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。

化工流程

案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。

材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。