KOFLOC科赋乐 小型比例电磁阀控制器
MODEL3000系列保持滞后范围在15%(满量程电流)以内的流量控制特性，在超小型比例的电磁阀中适用于以气相色谱仪为首的各种分析设备的自动气体流量控制。

KOFLOC科赋乐 小型比例电磁阀控制器

KOFLOC科赋乐 小型比例电磁阀控制器

它具有出色的分辨率，可用于精密压力控制等。

超小型、重量轻、用于单电源的高性能比例阀

低功耗（Max.2W）

采用磁性材料热处理和特殊设计的扁平弹簧，杜绝了柱塞芯移动和摩擦振动引起的电流波动。

磁轭没有采用弯曲加工而是在磨削加工后，采用热处理以消除磁通量的通过阻碍并增大了磁力

最小滞后在15％以内

符合RoHS标准

技术优势

热式技术（气体）：

基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。

低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。

压差式技术（液体）：

通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。

耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。

智能功能：

数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自诊断报警（流量超限、传感器异常）。

典型应用场景

半导体制造

案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。

配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。

光伏产业

案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。

挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。

方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。

化工流程

案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。

材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封