KOFLOC科赋乐 流量控制器
不受出口侧压力波动的影响 适用于二次压力波动型气体的流量控制器

KOFLOC科赋乐 流量控制器

KOFLOC科赋乐 流量控制器

流量控制器是为了在微小气流中，精确控制微流量或保持恒定流量而设计的定差压调整阀。

控制阀保证即使二次侧（出口侧）的负载压力在供应压力一定的条件下波动，也能保持流量恒定，内置精密针阀可以精确控制流量设定。

稳定的流量控制特性

通过由高精度零件组成的非旋转针阀平稳调节微流量。

不受负载压力损失的影响

由于即使出口侧（二次侧）的压力损失发生变化，流量也不会受到影响，因此该阀门对于流量控制的第一阶段至关重要。

清洁性

它的组装与要求清洁度的分析仪器亦可兼容。

用途

用于分析仪（气相色谱仪等）

用于环境测量设备

适用于各种气体混合装置

技术优势

热式技术（气体）：

基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。

低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。

压差式技术（液体）：

通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。

耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。

智能功能：

数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自诊断报警（流量超限、传感器异常）。

典型应用场景

半导体制造

案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。

配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。

光伏产业

案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。

挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。

方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。

化工流程

案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。

材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封