KOFLOC科赋乐 气体流量控制器
不受供应侧压力波动影响的一次压力波动型气体流量控制器

KOFLOC科赋乐 气体流量控制器

KOFLOC科赋乐 气体流量控制器

流量控制器2204在二次侧（出口侧）压力恒定的情况下，即使一次侧压力（入口侧）波动，也可以控制稳定的恒定流量。

通过内置的精密针阀，可以以极微流量来精确地设定流量。

稳定的流量控制特性

由高精度部件组成的非旋转针阀可以平稳调节非常微小的流量。

不受供应侧压力波动的影响

在二次侧（出口侧）压力恒定的条件下，即使一次侧（供给侧）上压力波动，也可保持恒定的流速。

清洁性

高精度零件清洁后组装完成，因此请放心使用。

对于要求清洁性的高灵敏度分析仪，建议使用不锈钢制品 。

用途

用于理化设备

用于泵后段控制

适用于各种分析仪器

适用于各种环境测量仪器

技术优势

热式技术（气体）：

基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。

低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。

压差式技术（液体）：

通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。

耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。

智能功能：

数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自诊断报警（流量超限、传感器异常）。

典型应用场景

半导体制造

案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。

配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。

光伏产业

案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。

挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。

方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。

化工流程

案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。

材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封