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KOFLOC科赋乐浮子流量计

产品型号：RK1700
厂商性质：经销商
更新时间：2025-05-22
访问量：84

简要描述：

KOFLOC科赋乐浮子流量计
低成本流量计，采用SUS316兼容材料，实现低成本。

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联系电话：028-87319898

产品详情

KOFLOC科赋乐浮子流量计

成本低

设计精巧

特别记录事项

流量测量条件为20°C（大气压）

下方带阀门（标准）

技术优势

热式技术（气体）：

基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。

低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。

压差式技术（液体）：

通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。

耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。

智能功能：

数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自诊断报警（流量超限、传感器异常）。

典型应用场景

半导体制造

案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。

配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。

光伏产业

案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。

挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。

方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。

化工流程

案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。

材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。

流体		Air、N2、O2专用
流量范围 (FS)		1L,5L,10L,30L,50L/MIN （20°C校准）
精度		FS±7％
有效刻度		10：1
供应压力		0.3MPa以下
耐压		0.5MPa
最高使用温度		60℃
流体接触部分材质		(SS) SUS316，硬玻璃，氟橡胶， SUS304，SUS303 (BS) 黄铜，硬质玻璃，NBR，SUS303
连接		Rc1/4

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