KOFLOC科赋乐 质量流量计
KOFLOC科赋乐是日本流量控制设备制造商，成立于1958年，专注于质量流量计（MFM）、质量流量控制器（MFC）和精密阀门的研发生产，产品以高精度、低压损、长寿命著称，广泛应用于半导体、光伏、医疗和化工等领域。

KOFLOC科赋乐 质量流量计

KOFLOC科赋乐 质量流量计

MODEL3810DSII是一款质量流量计，其指示器与经过验证的流量传感器集成在一起。

除了传统的瞬时流量，还增加了集成流量显示。

此外，还有一个模型，集成了流量传感器和精密针阀，如传统的3810 DS。

流量可以直接在上部显示屏上读取，也可以通过100.0％表达式确认

只有连接24 VDC电源才能测量流量

小巧轻便，结构紧凑

精密针阀可实现精确的流量控制和监控

流量监控有2个报警输出

具有瞬时流量/模拟信号输出，集成流量/脉冲信号输出

技术优势

热式技术（气体）：

基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。

低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。

压差式技术（液体）：

通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。

耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。

智能功能：

数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自诊断报警（流量超限、传感器异常）。

典型应用场景

半导体制造

案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。

配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。

光伏产业

案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。

挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。

方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。

化工流程

案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。

材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。