KOFLOC科赋乐 质量流量计
KOFLOC科赋乐是日本流量控制设备制造商，成立于1958年，专注于质量流量计（MFM）、质量流量控制器（MFC）和精密阀门的研发生产，产品以高精度、低压损、长寿命著称，广泛应用于半导体、光伏、医疗和化工等领域。

KOFLOC科赋乐 质量流量计

KOFLOC科赋乐 质量流量计

5100系列是一款质量流量控制器，它实现了无焊接结构（VCR规格），金属密封的基本性能，以及半导体工艺气体控制所需的±1％精度。

板载传感器的响应能力。它具有出色的分辨率，可以处理1 sccm（N2）的微流量。

通过使用温度跟踪型电流差检测流量传感器实现高精度，高速传感器响应采用电磁铁电磁阀常闭阀由于无焊接结构（VCR规格），金属密封，泄漏低采用隔膜阀，减少死体积面对面，体型和接线连接与其他公司的更换兼容

技术优势

热式技术（气体）：

基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。

低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。

压差式技术（液体）：

通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。

耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。

智能功能：

数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自诊断报警（流量超限、传感器异常）。

典型应用场景

半导体制造

案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。

配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。

光伏产业

案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。

挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。

方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。

化工流程

案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。

材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。