KOFLOC科赋乐质量流量计
KOFLOC科赋乐是日本流量控制设备制造商，成立于1958年，专注于质量流量计（MFM）、质量流量控制器（MFC）和精密阀门的研发生产，产品以高精度、低压损、长寿命著称，广泛应用于半导体、光伏、医疗和化工等领域。

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产品详情

KOFLOC科赋乐质量流量计

支持15～24VDC宽频电源

模拟输出/输入0-5VDC/4-20mA可选

技术优势

热式技术（气体）：

基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。

低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。

压差式技术（液体）：

通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。

耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。

智能功能：

数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自诊断报警（流量超限、传感器异常）。

典型应用场景

半导体制造

案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。

配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。

光伏产业

案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。

挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。

方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。

化工流程

案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。

材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。

传感器		热式绕组传感器
阀门		电磁比例阀（断电时关闭）
对象气体		N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等
流量范围（N2换算）		10SCCM～20SLM
控制范围		2～100%F.S.
响应性		2sec以内（within±2%F.S.）
精度		±1%F.S.（25℃）
温度系数		±0.1%F.S./℃（15～35℃）
重现性		±0.5%F.S.
动作压差		F.S.≦5SLM 50～300kPa、F.S.＞5SLM 100～300kPa
入口最大圧・耐圧		500kPa(G)
耐圧		1MPa(G)
He泄漏率		1×10-8Pa・m3/sec以下
允许环境温度		5～45℃
允许保存温度		-10～60℃
允许周围湿度		10～90%RH（未出现冷凝）
与气体接触的材质		SUS316L,SUS316,磁性不锈钢,FKM(可选:NBR,CR)
電気接続		D-sub9九针 KFC standard（依据SEMI standard）
模拟流量设定信号		0～5VDC（输入Z,1MΩ以上）or 4～20mA（输入Z,250Ω）
模拟流量输出信号		0～5VDC（负载电阻250kΩ以上）or 4～20mA（负载电阻300Ω以下）
电源		+15VDC（±5%）100mA、-15VDC（±5%）250mA or　24VDC（±10%）450mA
外部尺寸		宽32mm × 高100mm(包含连接部）× 平面76mm(不包含接头)
接头（本体口径）		标准：1/4SWL、可选：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4（9/16-18UNF）
重量		约1,000g

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