MIYUKI美幸辉 真空阀 AEH-N50
真空阀（Vacuum Valve）是专门用于真空系统中控制气体流动、调节压力或隔离真空环境的阀门。

MIYUKI美幸辉 真空阀 AEH-N50

MIYUKI美幸辉 真空阀 AEH-N50

L 型阀

AEH 系列

阀体可以在任何位置停止，以实现缓慢排气。

真空阀（Vacuum Valve）是专门用于真空系统中控制气体流动、调节压力或隔离真空环境的阀门。由于真空系统对密封性、材料放气率和耐压差有严格要求，真空阀的设计与普通阀门有显著区别。

真空阀根据工作原理可分为：

截止型真空阀（如真空挡板阀、真空蝶阀）——用于切断或接通气流。

调节型真空阀（如真空微调阀、针阀）——用于精确控制气体流量和压力。

放气阀（如真空破空阀）——用于向真空腔体引入大气，平衡压力。

真空阀广泛应用于半导体制造、真空镀膜、航天模拟、粒子加速器、医疗设备等领域，是真空系统的关键组件。

真空阀的应用领域

半导体与微电子制造

用于晶圆加工、刻蚀、CVD（化学气相沉积）和PVD（物理气相沉积）设备，控制工艺腔体的真空度。

真空镀膜与光学涂层

在磁控溅射、电子束蒸发等镀膜设备中，真空阀用于隔离不同腔室，确保镀膜均匀性。

科研与实验室设备

粒子加速器、同步辐射装置、质谱仪等超高真空系统依赖高精度真空阀维持稳定运行。

航天与空间模拟

用于卫星、航天器地面测试，模拟太空真空环境，确保设备在条件下的可靠性。