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COSMOS新宇宙 气体检测仪
长处
带传感器单元更换型的固定式半导体材料气体检测仪
交付校准后的传感器单元,可随时更换,无需现场气体校准
支持 NF3 检测
兼容 Modbus (RS-485/Ethernet) (PS-7-M) * 以太网通信支持 PoE
符合 CE 和 SEMI 标准
COSMOS新宇宙 气体检测仪
用
检测半导体工厂中的半导体材料气体泄漏
◆ 便携式(传感器单元更换方式)半导体材料气体检测单元 XPS-7II 型
◆ 便携式半导体材料气体检测仪
◆ 无线转换信号布线的无线转换器
规范 | |
目标气体 | 半导体材料:气体、氢气、氧气 |
检测原理 | 半导体材料气体:恒电位电解型 |
氢气:热线半导体型 | |
氧气:原电池型 | |
气体采样方法 | 自动抽吸 |
检测范围 | 取决于规格 |
报警 | [警报设置值] |
取决于规格 | |
[报警方式] | |
红色 LED 灯闪烁 | |
液晶屏 第一阶段:ALARM1 第二阶段:ALARM1、ALARM2 显示 | |
大小 | 宽 62×高 124×深 143 毫米(不包括选件和突出部分) |
质量 | 约 1.0 kg |
工作温度和湿度范围 | 0°C~40°C(无突然变化),30~85%RH(无冷凝) |
使用的电源 | 直流24V±10% |
功耗 | 约 7W |
外部输出 | ・气体浓度模拟输出 DC4-20mA(负电源通用) |
・气体报警触点(1 级和 2 级) 1A 无电压触点/自动恢复 | |
・故障警报触点(集电极开路/自动恢复) |