Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵
省电设计，运行数据、触地计数、型号信息等可以存储在主机中 * 即使在大修期间更换控制器，也可以传输数据。

Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵

省电设计，运行数据、触地计数、型号信息等可以存储在主机中 * 即使在大修期间更换控制器，也可以传输数据。

各种通信规格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT

国际标准：NRTL/SEMI-S2/CE

Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵

・半导体制造

・电子枪排气、离子源排气

・FPD 制造

・表面处理、表面改性

・各种电子元件的制造

・分析、检测设备

・管材、光学元件的制造

・加速器、放射线设施、聚变研究

・热处理

・研发

结构与工作原理

（1）核心组件

转子叶片：多级铝合金或钛合金涡轮叶片（转速约20,000~90,000 RPM）。

定子叶片：与转子交错排列，形成气体通道。

电机：高频交流电机或磁悬浮轴承电机（避免机械磨损）。

排气口：连接前级泵（如旋片泵），排出压缩后的气体。

（2）工作原理

动量传递：高速旋转的叶片撞击气体分子，使其向下级运动（分子流态下有效）。

压缩比：每级叶片对气体进行压缩，最终由前级泵排至大气。

工作压力范围：依赖分子流状态（需气体分子平均自由程＞叶片间距）。

📌 注：涡轮分子泵在**分子流态（压力＜10⁻¹ Pa）**下效率高，需避免大气压下启动（会过热损坏）。