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Osaka Vacuum大阪真空涡轮分子泵

产品型号：TG900M
厂商性质：经销商
更新时间：2025-03-29
访问量：38

简要描述：

Osaka Vacuum大阪真空涡轮分子泵
省电设计，运行数据、触地计数、型号信息等可以存储在主机中 * 即使在大修期间更换控制器，也可以传输数据。

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联系电话：028-87319898

产品详情

Osaka Vacuum大阪真空涡轮分子泵

省电设计，运行数据、触地计数、型号信息等可以存储在主机中 * 即使在大修期间更换控制器，也可以传输数据。

各种通信规格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT

国际标准：NRTL/SEMI-S2/CE

Osaka Vacuum大阪真空涡轮分子泵

・半导体制造

・电子枪排气、离子源排气

・FPD 制造

・表面处理、表面改性

・各种电子元件的制造

・分析、检测设备

・管材、光学元件的制造

・加速器、放射线设施、聚变研究

・热处理

・研发

进气法兰		VG150型 CF160 型 ISO-B160 材质
抽速	N2 （升/秒）	900
	N2（带保护网）（升/秒）	860
	H2 （升/秒）	1050
最大压缩比	N2	1×108
最大压缩比	H2	1,5×10%4
极限压力	VG/ISO-B/CF （帕）	<1×10-6 / <1×10-7
极限压力	VG・ISO-B/CF （托）	<7.5×10-9 / <7.5×10-10
最大气体流速*1	N2 （SCCM）	3000
启动时间	（分钟）	4~5
停机时间	（分钟）	4~5
允许的辅助压力	（Pa / Torr）	500 / 3.8
推荐的辅助泵	（升/分钟）	≧250
安装姿势		自由
重量（kg） VG/ISO-B/CF		34 / 42
控制器类型		TC010MA
特殊规格		-化学型 - 对应反应产物 TG-MI - 超低振动规格 TG-ML - 超高真空型 TG-MU - 耐辐射型 TG-MR

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