LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3202L-TN
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3202L-TN

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3202L-TN

质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。

由于是利用气体或液体的质量对流量进行控制，故不受温度及压力的影响，可精准地对流体进行控制。质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。

典型应用场景

1. 半导体制造：

晶圆刻蚀工艺（Cl₂、CF₄等特种气体控制）

CVD沉积（SiH₄/N₂O流量比控制±1%）

2. 新能源领域：

燃料电池氢气供应（动态响应<50ms）

4. 科研实验：

催化反应研究（多路气体并行控制）

质流传感器是由缠绕着高温度灵敏系数的阻抗线的上流端(RU)，下流端(Rd)及环境温度补惨式质流传感器(RD)所构成。当气体未流入时。Ru 及 Rd 部分的热量被气体带走，造成温度下降，为维持原本与比的温差，回路会产生电力对Ru及Rd进行加温。

技术验证数据

案例1：半导体刻蚀工艺

控制气体：Cl₂/HBr混合气

流量范围：50-200sccm

稳定性测试：8小时波动<±0.3%

匹配度：与终点检测系统同步误差