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LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3462L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MM-3462L
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。
由于是利用气体或液体的质量对流量进行控制,故不受温度及压力的影响,可精准地对流体进行控制。质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。
典型应用场景
1. 半导体制造:
晶圆刻蚀工艺(Cl₂、CF₄等特种气体控制)
CVD沉积(SiH₄/N₂O流量比控制±1%)
离子注入(BF₃/PH₃精确配气)
2. 新能源领域:
燃料电池氢气供应(动态响应<50ms)
4. 科研实验:
催化反应研究(多路气体并行控制)
温度 | 压力规格 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
5~50℃ | 400kPa(D)以下 | ±1%S.P. | 5SCCM | 250SLM | Au |
质流传感器是由缠绕着高温度灵敏系数的阻抗线的上流端(RU),下流端(Rd)及环境温度补惨式质流传感器(RD)所构成。当气体未流入时。Ru 及 Rd 部分的热量被气体带走,造成温度下降,为维持原本与比的温差,回路会产生电力对Ru及Rd进行加温。
产品核心优势
智能功能:
自诊断功能(传感器异常、阀体卡滞预警)
多气体/多量程自动切换(最多支持8种气体参数存储)