LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3102L-TC
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3102L-TC

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3102L-TC

质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。

由于是利用气体或液体的质量对流量进行控制，故不受温度及压力的影响，可精准地对流体进行控制。质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。

典型应用场景

1. 半导体制造：

晶圆刻蚀工艺（Cl₂、CF₄等特种气体控制）

CVD沉积（SiH₄/N₂O流量比控制±1%）

离子注入（BF₃/PH₃精确配气）

2. 新能源领域：

燃料电池氢气供应（动态响应<50ms）

锂电材料烧结（N₂/O₂混合控制）

光伏硅烷沉积（流量波动<±0.3%）

3. 制药行业：

生物反应器气体供应（O₂/CO₂/N₂三联控）

冻干机惰性气体保护（露点控制<-70℃）

无菌灌装环境控制（ISO 5级洁净度）

4. 科研实验：

催化反应研究（多路气体并行控制）

质谱仪载气调节（0.1-10mL/min微流量）

环境模拟实验（温湿度联动控制）

质流传感器是由缠绕着高温度灵敏系数的阻抗线的上流端(RU)，下流端(Rd)及环境温度补惨式质流传感器(RD)所构成。当气体未流入时。Ru 及 Rd 部分的热量被气体带走，造成温度下降，为维持原本与比的温差，回路会产生电力对Ru及Rd进行加温。

产品核心优势

精准控制能力：

采用自适应PID算法，在10%-100%量程内保持线性度±0.5%

零漂移补偿技术，长期稳定性<±0.5%/年