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LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3482L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3482L
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。
由于是利用气体或液体的质量对流量进行控制，故不受温度及压力的影响，可精准地对流体进行控制。质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。
核心技术架构
阀体系统：
压电瓷阀（响应时间<10ms）
电磁比例阀（寿命>10⁸次循环）
| 温度 | 最下压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 最小F.S. | 最小F.S. | 密封件 |
| 5～50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 400SLM | Au |
典型应用场景
1. 半导体制造：
晶圆刻蚀工艺（Cl₂、CF₄等特种气体控制）
CVD沉积（SiH₄/N₂O流量比控制±1%）
离子注入（BF₃/PH₃精确配气）
2. 新能源领域：
燃料电池氢气供应（动态响应<50ms）
3. 制药行业：
生物反应器气体供应（O₂/CO₂/N₂三联控）
质流传感器是由缠绕着高温度灵敏系数的阻抗线的上流端(RU)，下流端(Rd)及环境温度补惨式质流传感器(RD)所构成。当气体未流入时。Ru 及 Rd 部分的热量被气体带走，造成温度下降，为维持原本与比的温差，回路会产生电力对Ru及Rd进行加温。
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