Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵
灵活的安装姿势、紧凑的尺寸、节能、快速启动、可快速停止排气、能够进入大气层、可以进行串行通信

Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵

・半导体制造

・电子枪排气、离子源排气

・FPD 制造

・表面处理、表面改性

・各种电子元件的制造

・分析、检测设备

・管材、光学元件的制造

・加速器、放射线设施、聚变研究

・热处理

・研发

* 排放腐蚀性气体时，请选择化学相容性 TG-M 或 TG 系列。

Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵

半导体制造

电子枪排气、离子源排气

FPD 制造

表面处理、表面改性

各种电子元件的制造

分析和测试设备

管材制造、光学元件制造

加速器、辐射设施、聚变研究

热处理

研发

它可以从各个方向直接安装在

设备上，具有灵活的安装姿势。 管道设计简单，可实现高效排气。

耐振动性和耐加速性耐

振动性，即使在泵运行时也可以移动。 我们有良好的记录，即使在我们过去经历过的最大地震中也能重新启动。 它也可以安装在运动部件上，例如排气车和腔室门。

通过简化紧凑的尺寸结构，

可以实现小型化和轻量化。

快速启动

更快，待机时间更短。

抗大气进入的结构由于

它可以承受突然的压力上升，因此对于因泄漏而快速停止、频繁启动和停止以及反复进入大气也很有效。

可长期使用：

适当检修后可长期使用。 * 泵的设计寿命为 100,000 小时或更长时间

它

配备了一个符合 RS232C 标准的串行接口，能够作为标准进行串行通信。

符合安全标准的 NRTL/SEMI-S2/CE