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Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵

产品型号：TG450F
厂商性质：经销商
更新时间：2025-03-27
访问量：48

简要描述：

Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵
灵活的安装姿势、紧凑的尺寸、节能、快速启动、可快速停止排气、能够进入大气层、可以进行串行通信

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联系电话：028-87319898

产品详情

Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵

・半导体制造

・电子枪排气、离子源排气

・FPD 制造

・表面处理、表面改性

・各种电子元件的制造

・分析、检测设备

・管材、光学元件的制造

・加速器、放射线设施、聚变研究

・热处理

・研发

* 排放腐蚀性气体时，请选择化学相容性 TG-M 或 TG 系列。

Osaka Vacuum大阪真空复合分子泵

灵活的安装姿势

紧凑的尺寸

节能

快速启动

结构耐大气层进入

可以进行串行通信

符合安全标准的 NRTL/SEMI-S2/CE

[使用环境温度] 极限压力保证

环境温度为 10~23°C。允许环境温度为风冷 10~32°C，水冷 10~40°C。极限压力保证：冷却水温度不大于30°C，允许冷却水温度为10~35°C。

根据吸入气体

的类型，它可能会使轴承润滑脂和内部零件变质。请联系我们了解兼容的气体类型。

型		TG450F 系列
进气法兰		VG150 ISO-B160 CF160
抽速	N2 （升/秒）	450
	N2（带保护网）（升/秒）	430
	H2 （升/秒）	240
最大压缩比	N2	1×108
最大压缩比	H2	2×103
极限压力	（Pa / Torr）	<1×10-6 / <7.5×10-9
最大气体流速※1	（SCCM）	500
启动时间	（分钟）	2-2.5
停机时间	（分钟）	5-6.5
允许的辅助压力	（Pa / Torr）	260 / 2
推荐的辅助泵	（升/分钟）	≧80
安装姿势		自由
质量	VG/ISO-R/CF（千克）	7 / 10
控制器类型		TC353 系列

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