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Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵
  • 产品型号:TG350F
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-03-27
  • 访  问  量:49
简要描述:

Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵
灵活的安装姿势、紧凑的尺寸、节能、快速启动、可快速停止排气、能够进入大气层、可以进行串行通信

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产品详情

Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵

・半导体制造

・电子枪排气、离子源排气

・FPD 制造

・表面处理、表面改性

・各种电子元件的制造

・分析、检测设备

・管材、光学元件的制造

・加速器、放射线设施、聚变研究

・热处理

・研发

* 排放腐蚀性气体时,请选择化学相容性 TG-M 或 TG 系列。


Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵

灵活的安装姿势

紧凑的尺寸

节能

可快速停止排气

结构耐大气层进入

可以进行串行通信

符合安全标准的 NRTL/SEMI-S2/CE


[使用环境温度] 极限压力保证

环境温度为 10~23°C。 允许环境温度为风冷 10~32°C,水冷 10~40°C。 极限压力保证:冷却水温度不大于30°C,允许冷却水温度为10~35°C。

根据吸入气体

的类型,它可能会使轴承润滑脂和内部零件变质。 请联系我们了解兼容的气体类型。


TG350F 系列
进气法兰VG100
ISO-R100
CF100
抽速VG / ISO-R・CF
N
2 (升/秒)
350 / 330
VG / ISO-R・CF
N
2(带保护网) (升/秒)
330 / 310
VG / ISO-R・CF
H
2 (升/秒)
210 / 210
最大压缩比N21×108
H22×103
极限压力(Pa / Torr)<1×10-6 / <7.5×10-9
最大气体流速※1(SCCM)500
启动时间(分钟)2-2.5
停机时间(分钟)5-6.5
允许的辅助压力(Pa / Torr)260 / 2
推荐的辅助泵(升/分钟)≧80
安装姿势自由
质量VG/ISO-R/CF(千克)6 / 9
控制器类型TC353 系列


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