Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵
灵活的安装姿势、紧凑的尺寸、节能、快速启动、可快速停止排气、能够进入大气层、可以进行串行通信

Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵

・半导体制造

・电子枪排气、离子源排气

・FPD 制造

・表面处理、表面改性

・各种电子元件的制造

・分析、检测设备

・管材、光学元件的制造

・加速器、放射线设施、聚变研究

・热处理

・研发

* 排放腐蚀性气体时，请选择化学相容性 TG-M 或 TG 系列。

Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵

控制器 紧凑的设计，带有集成涡轮分子泵（复合分子泵）的集成控制器。 没有输出电缆或单独的控制器，也不需要电缆管道或控制器机架。 它消除了繁琐的电缆布线工作，并且易于安装。 这解放了设备设计并有助于降低成本。 此外，还有两种类型的控制器可供选择：集成泵型和分离型

它可以从各个方向直接安装在

设备上，具有灵活的安装姿势。 管道设计简单，可实现高效排气。

耐振动性和耐加速性耐

振动性，即使在泵运行时也可以移动。 我们有良好的记录，即使在我们过去经历过的最大地震中也能重新启动。 它也可以安装在运动部件上，例如排气车和腔室门。

高压缩比

H2最大压缩比105它对轻气体的排出有效。

通过简化紧凑的尺寸结构，

可以实现小型化和轻量化。

快速启动

更快，待机时间更短。

抗大气进入的结构由于

它可以承受突然的压力上升，因此对于因泄漏而快速停止、频繁启动和停止以及反复进入大气也很有效。

可长期使用：

适当检修后可长期使用。 * 泵的设计寿命为 100,000 小时或更长时间

它

配备了一个符合 RS232C 标准的串行接口，能够作为标准进行串行通信。

仅符合 NRTL/SEMI-S2/CE*

TG70F-20 安全标准