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Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵
・半导体制造
・电子枪排气、离子源排气
・FPD 制造
・表面处理、表面改性
・各种电子元件的制造
・分析、检测设备
・管材、光学元件的制造
・加速器、放射线设施、聚变研究
・热处理
・研发
* 排放腐蚀性气体时，请选择化学相容性 TG-M 或 TG 系列。
Osaka Vacuum大阪真空 复合分子泵
灵活的安装姿势、紧凑的尺寸、节能、快速启动、可快速停止排气、能够进入大气层、可以进行串行通信
[ 工作环境温度 ]
极限压力保证环境温度为 10~23°C。 允许环境温度为 8~38°C。
[ 支持的气体类型 ]
根据吸入气体的类型，它可能会使轴承润滑脂和内部组件变质。 请联系我们了解兼容的气体类型。
| 型 | TG60F 系列 | TG60F-20 系列 | |
| 进气法兰 | ISO-R63 CF63 （KF40） 铜※4 | ||
| 抽速 | N2 （升/秒） | 60 | |
| N2（带保护网） （升/秒） | 55 | ||
| H2 （升/秒） | 22 | ||
| 最大压缩比 | N2 | 2×107 | |
| H2 | 2×103 | ||
| 极限压力 | ISO-R/CF （帕） | <5×10-6 / <1×10-6 | |
| ISO-R/CF （托） | <3.8×10-8 / <7.5×10-9 | ||
| 最大气体流速※1 | 自然风冷 N2 （SCCM） | 9 | |
| 强制风冷 N2 （SCCM） | 20 | ||
| 启动时间 | （分钟） | 1.5∼2 | |
| 允许的辅助压力 | （Pa / Torr） | 800 / 6 | |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | ≧25 | |
| 质量※2 | ISO-R / CF（千克） | 3.4 / 5.4 | |
| 控制器类型※3 | TC65 系列 | TC66 系列 | |
| 输入电压 | DC24V 直流 | 交流100-230V（±10%） | |
| 最大功率要求 | 120瓦 | 160 伏安 | |
我的位置：
地址：四川成都市高新区天府大道中段500-1号东方希望天祥广场C座4527室
邮箱：cd@cosimoinc.com
传真：86-028-85068959